1. 2000℃伺服控制真空熱壓爐設(shè)備用途

本設(shè)備主要供大專(zhuān)院校、科研單位等針對(duì)金屬化合物、陶瓷、無(wú)機(jī)化合物、納米材料等在真空或保護(hù)氣氛的條件下進(jìn)行加壓加熱燒結(jié)處理，以便獲得高致密度的產(chǎn)品，例如生產(chǎn)高精度氮化硅陶瓷軸承等。

2. 2000℃伺服控制真空熱壓爐方案圖

3. 主要技術(shù)參數(shù)

3.1 電源：三相 380V 50Hz

3.2 額定功率：15Kw

3.3 最高工作溫度：1800℃

3.4 工作區(qū)尺寸：80*80（D*H，mm）

3.5 控溫區(qū)數(shù)：一區(qū)

3.6 控溫方式：鎢錸熱電偶

3.7 控溫精度：±1℃

3.8 冷態(tài)極限真空度：6.67*10-3Pa（空爐、冷態(tài)、烘烤除氣后）

3.9 壓升率：4Pa/h

3.10 充氣氣氛：惰性氣體

3.11 充氣壓力（微正壓）：≤0.03MPa

3.12 最大壓力：5T（數(shù)顯、自動(dòng)調(diào)壓、自動(dòng)保壓、伺服電動(dòng)缸）

3.13 壓頭直徑：Ф40 mm

3.14 壓力波動(dòng)：≤±1%，位移精度≥0.01mm

3.15 壓力行程：0～80mm（數(shù)顯）

3.16 壓力控制：伺服電動(dòng)控制（5kw伺服電機(jī)控制）

結(jié)構(gòu)及功能說(shuō)明

5.1 爐門(mén)

爐蓋采用雙層不銹鋼（SUS304）水夾層封頭結(jié)構(gòu)，與法蘭組焊成一個(gè)整體。其中內(nèi)壁精密拋光，外壁拉絲處理。爐門(mén)上設(shè)有冷卻水進(jìn)出接口、觀(guān)察窗，爐門(mén)鎖緊裝置等。門(mén)鎖緊采用手輪壓緊的方式，可保證設(shè)備在微正壓下工作。

5.2 爐體

爐體采用雙層不銹鋼（SUS304）水冷架構(gòu)，爐體上下分別組焊有上下壓頭安裝座。正面法蘭平面上開(kāi)設(shè)有燕尾型密封槽，采用O型硅橡膠密封圈密封。爐內(nèi)壁精密拋光，外壁拉絲處理。爐體側(cè)面設(shè)有冷卻水進(jìn)出口、觀(guān)察窗口、真空抽氣口、熱電偶安裝口，電極安裝座等。

5.4 龍門(mén)架

龍門(mén)架由上、下橫梁、雙立柱、箱體等組成，作為上下壓頭支座及爐體支撐。

5.5 加熱及隔熱系統(tǒng)

加熱采用進(jìn)口高純石墨板作發(fā)熱體，純度高，無(wú)揮發(fā)，有效保證爐腔內(nèi)的清潔度。隔熱材料采用石墨成型纖維軟氈，保溫效果好，耐沖擊性好。整個(gè)隔熱屏采用金屬框架固定，便于安裝與維護(hù)。

溫度控制采用一支鎢套管鎢錸熱電偶，同時(shí)，在隔熱屏外設(shè)置一支監(jiān)控?zé)犭娕?，監(jiān)控隔熱屏外溫度，提高設(shè)備的安全使用性能。

5.7 真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)采用二級(jí)泵配置，由一臺(tái)K-150擴(kuò)散泵，一臺(tái)VRD-30直連泵、高真空擋板閥、充氣閥、放氣閥、真空壓力表、真空測(cè)量規(guī)管等組成，真空管道與泵的聯(lián)接采用金屬波紋管減緩震動(dòng)，真空度的測(cè)量由成都睿寶數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)執(zhí)行。

5.8 伺服電動(dòng)加壓系統(tǒng)

加壓方式采用最新的伺服電動(dòng)加壓方式，采用進(jìn)口伺服電動(dòng)加壓系統(tǒng)（伺服電動(dòng)缸），由伺服電機(jī)、減速機(jī)，電動(dòng)壓力缸，精密壓力傳感器、器件組成，通過(guò)觸摸屏設(shè)定壓力，自動(dòng)調(diào)節(jié)壓力，并能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)壓、保壓壓力曲線(xiàn)可實(shí)時(shí)顯示。伺服電機(jī)自帶編碼器，位移可精確控制并顯示.壓力工藝可儲(chǔ)存，可調(diào)用、可編輯。